새로운 고유량 서브 1nm  PE-Kleen 필터

서브 1nm 등급의 이 새로운 필터는 초고순도, 고밀도 폴리에틸렌(HDPE) 배지 및 고밀도 폴리에틸렌(HDPE) 하드웨어 재료로 구성되어 있습니다. 

고밀도 폴리에틸렌은 뛰어난 hard particle 제거로 잘 알려진 고성능 소재로, 첨단 EUV 저항성 물질을 비롯한 고급 리소그래피 공정에 사용되는 대부분의 화학 물질에 이상적입니다.  기존 리소그래피 필터에 비해 청정도와 파티클 제거 성능이 크게 개선되었습니다.  

새로운 고유량 서브 -1nm PE-Kleen 필터는 결함 감소 전략에 사용할 수 있는 고급 리소그래피용 추가 도구입니다. 

새로운 고유량 서브 1nm PE-Kleen 필터는 Pall의 Xpress 클리닝 공정을 거치며, 이는 가장 진보된 패터닝 화학 물질을 위해 특별히 설계되어 금속, 유기물 및 미립자 cleanliness가 아주 우수합니다. 

고유량, 정밀 제거 등급와 Xpress 세정을 조합하여 뛰어난 결점 감소 필터 조합을 만듭니다.